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전자현미경(Mini-SEM)



SNE-3200M (고급형 SEM)

SEM 이미지 분석을 위한 SE/BSE Detector가 기본으로 탑재되어 있어, 샘플의 특성을 고려한 분석을 다양화할 수 있다. 또한 High / Low Vacuum Mode가 지원되어 저진공모드에서는 부도체 시료의 금속 코팅없이 시료분석이 가능하다.
(Charge-up Reduction Mode 지원)

Performance

· Resolution : 15nm
· Magnification : 60,000x
· Detector : SE/BSE
· Vacuum : High/Low
· Stage : X, Y, R : Manual

Specifications

· Stage Traverse : X,Y:35mm R:360°
· Max. Sample Size : 70㎜(D) / 30㎜(H)
· CCD Camera :
· O.L Aperture Type : 200㎛(Single)
· Electron Beam Source : Pre-centered Tungsten Filament Cartridge
· Acceleration Voltage : 1㎸ ~ 30㎸ (1/5/10/15/20/30) - 6 Step
· Display Mode : 320x240 / 640x480 / 1,280x960 / 2,560x1,920 / 5,120x3,840
· Automation Function : Start, Focus, Stigmator, Contrast & Brightness
· Image Format : BMP, JPEG, PNG, TIFF
· Vacuum Pump : Rotary + Turbo Molecular Pump (Fully Automation System)