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전자현미경(Mini-SEM)



SNE-4500M (고 분해능 SEM)

Normal-SEM의 Module 소형화를 실현함으로써 최대 10만 배까지의 영상을 관찰할 수 있는 고분해능 SEM이다. Variable Aperture(30, 50, 50, 100㎛) 장착으로 미세입자 구조 분석에 수준 높은 영상 획득이 가능하며, 5개의(X, Y, R, Z, T) 이동 축을 탑재함에 따라 샘플의 따라 샘플의 전방위 분석에 최적화되었다.

Performance

· Resolution : 5nm
· Magnification : 100,000x
· Detector : SE
· Vacuum : High
· Stage : X, Y, R, Z, T : Manual

Specifications

· Stage Traverse : X,Y:40mm Z:0~35mm R:360° T:0~45°
· Max. Sample Size : 80㎜(D) / 35㎜(H)
· CCD Camera :
· O.L Aperture Type : 30, 50, 50, 100㎛(Variable Type)
· Electron Beam Source : Pre-centered Tungsten Filament Cartridge
· Acceleration Voltage : 1㎸ ~ 30㎸ (1/5/10/15/20/30) - 6 Step
· Display Mode : 320x240 / 640x480 / 1,280x960 / 2,560x1,920 / 5,120x3,840
· Automation Function : Start, Focus, Stigmator, Contrast & Brightness
· Image Format : BMP, JPEG, PNG, TIFF
· Vacuum Pump : Rotary + Turbo Molecular Pump (Fully Automation System)