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전자현미경(Mini-SEM)



SNE-4500 PLUS

사용자 중심의 기능을 탑재한 SNE-4500M Plus 모델은 Tabletop-SEM 모델 중 가장 높은 성능과 편의 기능을 탑재하였다. 모든 이동 축에 자동화된 모터를 장착하여 위치 이동을 신속하게 할 수 있으며, Top-View 카메라를 장착하여 분석하고자 하는 위치를 손쉽게 찾아갈 수 있다. 최대 15만 배의 고 배율 영상 획득이 가능하며, 폭넓은 스테이지 구성으로 표 / 단면 분석에 최적화되었다.

A Type
SE Detector 및 고 진공 전용 Model

B Type
A Type & BSE Detector 및 저 진공 모드 탑재 Model

“Tilting -45º to 90º degree”


Navigation Camera Mode

Sample Images Snap Shot :

이미지 저장 가능, Rotation시 이미지 회전, 명암 & 밝기 보정 가능

Stage Control Mode

X, Y, R, Z, T- 5-axis Moving, Motor Speed
Control, Home 이동, 충돌 방지 Limit 기능 탑재


Recipe Function

위치 기억 기능(6Step),저장된 위치를 불러와서 재 분석 가능,SEM의 분석 조건을 저장하여 동일한 환경에서 분석 가능

Performance

SNE-4500M Plus(A)
· Resolution : 5nm
· Magnification : 150,000x
· Detector : SE
· Vacuum : High
· Stage : X, Y, R, Z, T : FullyMotorized

SNE-4500M Plus(B)
· Resolution : 5nm
· Magnification : 150,000x
· Detector : SE/BSE
· Vacuum : High/Low
· Stage : X, Y, R, Z, T : FullyMotorized

Specifications

SNE-4500M Plus(A)(B)
· Stage Traverse : X,Y:40mm Z:0~40mm R:360° T:-45~90°
· Max. Sample Size : 80㎜(D) / 50㎜(H)
· CCD Camera : Top-View CCD Camera
· O.L Aperture Type : 30, 50, 50, 100㎛(Variable Type)
· Electron Beam Source : Pre-centered Tungsten Filament Cartridge
· Acceleration Voltage : 1㎸ ~ 30㎸ (1/5/10/15/20/30) - 6 Step
· Display Mode : 320x240 / 640x480 / 1,280x960 / 2,560x1,920 / 5,120x3,840
· Automation Function : Start, Focus, Stigmator, Contrast & Brightness
· Image Format : BMP, JPEG, PNG, TIFF
· Vacuum Pump : Rotary + Turbo Molecular Pump (Fully Automation System)